求真務(wù)實(shí)的工作態(tài)度，誠(chéng)實(shí)守信的合作精神
精益求精的品質(zhì)追求，永不停息的科技創(chuàng)新
Realistic and pragmatic,honest and trustworthy,keep on improving,technological innovation
SCIS高精密環(huán)境控制設(shè)備
SCIS高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。
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超高精度溫濕度控制
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超高水準(zhǔn)潔凈度控制
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數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢
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外觀定制可拆卸
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設(shè)備運(yùn)行靜音高效
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自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)
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自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù) , 控制輸出精度0 . 1%
| 命名 | SCIS | H | A | A | 100 |
| 碼位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| 第1碼 | SCIS-品牌 | ||||
| 第2碼 | H-高精密環(huán)控系列 | ||||
| 第3碼 | 制冷模式編號(hào) A-風(fēng)冷型，冷媒介質(zhì)為水 B-水冷型，冷媒介質(zhì)為水 C-風(fēng)冷型，冷媒介質(zhì)為氟利昂 D-水冷型，冷媒介質(zhì)為氟利昂 E-用戶提供冷凍水 | ||||
| 第4碼 | 溫度精度編號(hào) A-精度高于±0.01 B-精度低于±0.01，高于±0.05 C-精度低于±0.05 | ||||
| 第5碼 | 設(shè)備規(guī)模編號(hào) 100-小型設(shè)備（一般制冷量小于5KW）200-中型設(shè)備（一般制冷量在5KV-10KW之間） 300-大型設(shè)備（一般制冷量在10KW以上） | ||||
| 設(shè)備需放置于具有一定溫濕度精度、潔凈度要求的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)運(yùn)行。 | |
| 周?chē)鷾貪穸葪l件 | ±2℃ DB溫度變化率0.5℃/8h以內(nèi) |
| ±5%RH 濕度變化率59%8h以內(nèi) | |
| 周?chē)鷿崈舳葪l件 | ISO class6 |
| 環(huán)境噪音 | ≤60dB |
| 供電電源 | 三相五線制380VAC-50Hz或220VAC-50Hz(根據(jù)設(shè)備而定) |
| 電源電壓 | 最大允許波動(dòng)范圍為±10% |
| 儲(chǔ)存環(huán)境溫度 | 設(shè)備制冷單元-40℃-70℃ 觸摸屏-20℃-60℃，不結(jié)露 |
| 運(yùn)行環(huán)境溫度 | 控制器-20℃-60℃ 觸摸屏0℃-50℃，不結(jié)露 |
典型運(yùn)用
芯片半導(dǎo)體
精密測(cè)量
精密制造
科研研發(fā)
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