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陜西省計(jì)量科學(xué)研究院
此項(xiàng)目的重難點(diǎn)在于實(shí)驗(yàn)室布局和恒溫室的精密控制。其中高等級(jí)量塊實(shí)驗(yàn)室溫度要求20±0.2℃;量塊測(cè)量實(shí)驗(yàn)室溫度要求20±0.3℃;納米測(cè)量實(shí)驗(yàn)室潔凈度要求萬級(jí),溫度要求20±0.5℃;超高精密三坐標(biāo)測(cè)量實(shí)驗(yàn)室溫度要求20±0.5℃,溫度變化0.2℃/h,溫度梯度為0.1℃/h。
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