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精進(jìn)不止，至善不息

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南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院

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現(xiàn)有的納米加工和納米表征潔凈室面積超過3000平方米。潔凈室千級區(qū)的溫度波動范圍可以維持在±0.5℃/h，百級區(qū)溫度可維持在±0.3℃/h，電子束光刻區(qū)域為±0.1℃/h。微納加工潔凈室設(shè)備包含光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見微納加工設(shè)備。

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